Спектрометр микроанализатор (англ. Microanalyzer spectrometer, укр. Спектрометер мікроаналізатор)
Спектрометр микроанализатор - прибор для определения локального (в объеме нескольких микронов) анализа химического состава и структуры образца или изделия; различают лазерные и рентгеноспектральные спектрометры.